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石英類
| 原廠料號 |
品名 |
邑維料號 |
照片 |
| 0200-09893 |
Quartz. focus ring, 162mm flat, poly esc. |
A-311-9113502 |
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| 0200-09894 |
Ring, focus, quartz poly, 150mm, 155mm ID,ESC |
A-511-L512899 |
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| 0200-35007 |
RP quartz upper dome |
311-0306193 |
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| 0200-35084 |
EPI upper dome |
311-0305024 |
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| 0200-35264 |
Quartz pipe insulating quartz simple cathode |
A-511-L512902 |
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| 0200-35801 |
Window recessed endpoint 4mm |
A-311-9111254 |
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| 713-008060-001 |
Standoff,gas feed |
A-311-5207291 |
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| 716-001700-001 |
490/590 Chamber front quartz window |
A-511-9112587 |
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| 716-008718-001 |
Nozzle, Gas NJ, 8-hole |
311-4107026 |
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| 716-011009-001 |
Quartz window |
A-611-9113088 |
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石英類
