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設備廠商

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Lam
原廠料號 品名 邑維料號 照片
716-021873-001 DISC,gasdirector lower 查看圖檔
716-022030-004 Quartz short pin A-311-M713405
716-026652-002 Ring, edge, BOT, 200-300mm 查看圖檔
716-028414-016 6" Focus ring C-211-0313041
716-028454-012 Disk,Quartz A-511-R114292 查看圖檔
716-028668-261 Lower Wafer Clamp C-211-0314551
716-028721-281 PLT,bottom waferclamp,DOM 查看圖檔
716-028722-161 Quartz Ring (for ESC Chuck) Kit Lam TCP 9400 Poly
716-030135-001 Focus ring, 8” ESC
716-030135-003 Quartz DISC 查看圖檔
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