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設備廠商

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Lam
原廠料號 品名 邑維料號 照片
715-011535-001 Righ, alamp-upper electode 查看圖檔
715-011535-002 Ring clamp upper electrode A-511-9112363 查看圖檔
715-011587-001 Plate lower baffle 6” 查看圖檔
715-011665-006 Lower Electrode, Cap w/ Vent Groove A-511-9114188 查看圖檔
715-011746-161 Plate, Wafer Clamp 6" A-511-9113292 查看圖檔
715-011749-006 Ring, Edge Wafer Clamp 6" A-511-9114194 查看圖檔
715-011753-001 Plate, upper baffle, 6” A-511-9112345
715-011781-001 Plunger,1/4 turn A-511-9114078 查看圖檔
715-011913-080 Baffle plate, lower 8" A-511-9112344
715-011925-001 Bolt, Capped, Clamped Retaining
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