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石英類

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石英類
原廠料號 品名 邑維料號 照片
0200-09216 Ring, pedestal, 6” 311-4406422 查看圖檔
0200-09446 Liner - quartz lower A-511-L512926
0200-09555 Quartz focus ring 311-4407082
0200-09558 Quartz collar 311-4407083 查看圖檔
0200-09664 REV A Window, slit, QUARTZ A-611-5211494
0200-09742 Ring, focusing quartz Poly/WYS 150 mm, 162 mm A-511-9111537
0200-09744 Ring, focus quartz poly/Wys 150mm, 170mm 311-4406423 查看圖檔
0200-09772 Filter slit window quartz A-511-5212186
0200-09785 Quartz capped fused A-511-9113384 查看圖檔
0200-09789 Cover quartz 6 stepped lift 2 flatted ESC A-511-L512901 查看圖檔
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